中微半導體設備（上海）股份有限公司（簡稱“中微公司”，AMEC）是一家專注于高端半導體微觀加工設備研發、生產和銷售的科創板上市公司。公司成立于2004年，總部位于上海，主要產品包括等離子體刻蝕設備和薄膜沉積設備，廣泛應用于集成電路、LED、功率器件及先進封裝等領域。

在最核心的刻蝕設備方面，中微公司自主研發的電容耦合等離子體（CCP）刻蝕設備已進入5納米及更先進制程的生產線，被國內外一線晶圓廠用于邏輯芯片和存儲芯片制造。其電感耦合等離子體（ICP）刻蝕設備則覆蓋130納米至5納米多個技術節點，在輕薄化、高深寬比刻蝕等工藝中表現優異。公司還積極布局薄膜沉積設備，包括化學氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）和金屬有機化學氣相沉積（MOCVD），其中MOCVD設備在藍綠光LED芯片制造市場占據領先地位。

中微公司的核心競爭力體現在持續的自主創新上……

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